강의 질화시 OES 진단에 관한 연구
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DATE : 2001-05-10 14:21:26
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강의 플라즈마 질화처리시 in-situ 진단법인 OES를 이용하여 플라즈마 활성종의 생성거동 및 제반 특성을 분석한 연구논문입니다.
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