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[SCI] 강의 질화시 공정변수 영향 및 OES 분석

작성자	정봉용 이름으로 검색
작성일	01-07-21 08:26

첨부파일

OES.pdf (632.3K) 2회 다운로드 DATE : 2001-07-21 08:26:08

Surface and Coatings Technology 141 (2001) 182-186

강의 플라즈마 질화시 공정변수들의 영향과 그에따른 OES 진단에 관한 논문입니다.

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